本報北京3月30日電（記者晉浩天）由西湖大學(xué)孵化的西湖儀器，日前成功實(shí)現12英寸碳化硅襯底激光剝離自動(dòng)化解決方案，大幅降低損耗，提升加工速度，推進(jìn)了碳化硅行業(yè)降本增效。

與傳統硅材料相比，碳化硅具有禁帶寬度大、熔點(diǎn)高、熱導率高等優(yōu)點(diǎn)，能夠在高溫、高電壓條件下穩定工作，已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)升級的關(guān)鍵材料，其應用能夠進(jìn)一步推動(dòng)了電動(dòng)汽車(chē)、光伏發(fā)電、智能電網(wǎng)、無(wú)線(xiàn)通信等領(lǐng)域的技術(shù)變革。然而，碳化硅硬度僅次于金剛石，加工一直面臨巨大挑戰。傳統切割方法猶如“鋸木”，不僅效率低，損耗嚴重，還容易導致材料襯底翹曲，極大地限制了碳化硅的大規模應用。

憑借西湖大學(xué)仇旻團隊在光電領(lǐng)域長(cháng)期研發(fā)積累的技術(shù)優(yōu)勢，西湖儀器成功開(kāi)發(fā)出一套全新的碳化硅激光剝離技術(shù)。該技術(shù)利用碳化硅的透光性，將激光打在材料內部形成數億個(gè)極細小的“爆破點(diǎn)”，實(shí)現晶錠一層層自動(dòng)剝離。“與傳統切割相比，用激光剝離碳化硅襯底不僅定位精準，加工均勻，而且出片速度大幅提升，材料損耗降低了一半。”仇旻說(shuō)。另?yè)A測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場(chǎng)規模將達67億美元。而當下炙手可熱的AR智能眼鏡，同樣以“碳化硅”為鏡片材料完成性能躍遷，預計2030年全球AR智能眼鏡市場(chǎng)規模將突破3000億美元，成為碳化硅材料應用的又一個(gè)“新藍海”。

據了解，此前，西湖儀器已率先推出“8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備”，并于今年1月榮獲“國內首臺（套）裝備”認定。“12英寸碳化硅襯底激光剝離設備的問(wèn)世，將進(jìn)一步助力碳化硅飛入尋常百姓家。”仇旻說(shuō)。